MKS压力传感器
1、美国MKS压力传感器产品介绍
他们的高性能Baratron®压力传感器以高精度和高重复性测量独立于气体的绝对压力。精度被指定为读数的百分比,即使在刻度的低端也能得到准确的输出信号。这些高性能Baratron®电容压力计在环境温度下工作。它们以真空为参考,用于与气体无关的直接测量绝对压力。626D未加热绝对Baratron®电容压力计是最新的MKS基于模拟电容的高性能真空和压力传感器。它需要±15VDC输入电压,并提供与压力成线性关系的高电平0-10 VDC模拟输出信号。这些Baratron®压力传感器参考真空进行绝对压力测量。应用包括:真空炉、水果和蔬菜的冷冻干燥、气体激光器、汽车部件测试、瓶子涂层和真空蒸馏。这些压力传感器的压力传感器采用Inconel®和Incoloy®镍合金结构,使其能够在几乎任何化学环境(包括卤素、去离子水和蒸汽以及臭氧)中运行而不会损坏。
2、美国MKS压力传感器产品特征
①0至10 VDC比例模拟输出,带15针D-sub连接器
②直接测量腔室总压力,不受气体类型或成分的影响
③为最先进的工艺可重复性提供长期输出稳定性
④基本传感器的Inconel®和Incoloy®镍合金结构在几乎任何化学环境中都不会损坏
⑤高超压限制确保系统故障期间的可靠性
⑥以读数百分比指定,以实现最佳精度并提高工艺良率
3、美国MKS压力传感器产品优势
626D01TBE未加热绝对Baratron®电容压力计具有1 Torr满量程压力测量,读数精度为0.25%,以及8 VCR型内螺纹接头。它需要±15VDC输入电压,并提供与压力成线性关系的高电平0-10 VDC模拟输出信号。该模拟输出可与MKS压力控制器、MKS电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。
4、美国MKS压力传感器计产品功能
传感器中的径向张紧Inconel®隔膜提供非常快的响应(在许多情况下<20毫秒)、低滞后、出色的可重复性、非常高的分辨率(至满量程的0.001%)、异常高的耐腐蚀性和确保操作员安全的双壁焊接结构。传感器本身可以承受45 psia(3.1 bar)的反复暴露,而不会出现永久性退化或移位,使其几乎可以在任何过程系统中运行。626D Baratron®电容压力计在环境条件下工作,适用于许多工业、电子和研究应用。传感器完全焊接,没有中间钎焊或连接材料。这些Baratron®电容压力计具有与压力成线性关系的高电平0-10 VDC模拟输出信号。该模拟输出可与MKS压力控制器、MKS电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。它们由±15 VDC输入电压供电。
5、美国MKS真空计产品特点
电容式压力计是机电式仪表,可以测量压力和真空。电容计将薄隔膜中的压力调制运动转换为与压力成比例的电信号。压力传感器是薄隔膜,暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程和参考腔之间的压力差会使隔膜略微偏转,从而改变隔膜与电极之间的距离。该距离的变化会产生隔膜和电极之间的电容变化,从而产生与压力变化成比例的电信号。精度被指定为读数的百分比,而不是满量程,正如在一些性能较低的设备中所看到的那样。读数精度百分比在压力范围的较低范围内为您提供更准确的输出信号,这是最需要的。
6、美国MKS真空计产品部分型号
①美国MKS真空计626D01TBE
②美国MKS真空计626D01TDE
③美国MKS真空计626D02TBE
④美国MKS真空计626D02TDE
⑤美国MKS真空计626D11TBE
⑥美国MKS真空计626D11TDE
⑦美国MKS真空计626D12TBE
⑧美国MKS真空计626D12TDE
⑨美国MKS真空计626D13TBE
⑩美国MKS真空计626D13TDE